微製造物理學：前端處理

Physics of Microfabrication: Front End Processing, Fall 2004

2004年秋季課程
這門課是提供給研究生的，重點在於理解那些用於矽積體電路元件製造中前端處理的基本原理。包括一些先進的物理模型以及諸如氧化﹑擴散﹑離子注入和外延生長等主要過程的實務應用。其他主題包括：高性能MOS和雙極型元件，包括超薄柵氧化層，注入損傷加強性擴散，進階度量學以及新材料如鍺化矽(SiGe)。

課程目錄

指定教科書

Plummer, James, Michael Deal, and Peter Griffin.《超大規模矽積體電路技術：基本原理，實際應用與建模》Silicon VLSI Technology: Fundamentals, Practice and Modeling. Upper Saddle River, NJ: Prentice Hall, 2000. ISBN: 0130850373.

課綱與詳述事項

課程重點

這門課的特點是在課堂講稿部分有一套完整的講稿錄音。另外，還有一些課外作業

教學大綱

課程目標

徹底理解每一個單元程序步驟

揭示現代COMS程序流程和整合議題

介紹程序處理對元件電性能的影響

瞭解外延生長，特性和鍺化矽處理程序

SUPREM IV 程序模擬的基本瞭解

注意：這個領域每隔幾年就會發生引人注目的變化，關注最新的發展是一個持續學習的過程。

誰應該上這門課

任何願意在大學畢業後繼續研究或從事微電子學或微製造學的人。

先修課程

6.152J所涵蓋的基本概念將對這門課有所幫助但不是必須修習的課程。

評評分標準Grading

課程評分標準.
活動	所佔百分比
作業 (5次作業)	50%
學期專題	50%

學期專題

論文：不超過20頁

或者課堂報告（附帶講義）：17分鐘+3分鐘提問／討論

教學時程、課堂講稿、技術需求、相關閱讀資料

執行這門課程網頁上的.rm檔需要使用RealOne™ 播放軟體RealOne™ Player software。

這部分包括專門為開放式課程錄製的講座錄音。講座按照主題列出，而不是按照日期。

這部分包括課程中使用的閱讀材料。Plummer, Deal和Griffin的書是唯一必須的教材，但是其他的閱讀材料有助於更好地理解本課程的主題。下表中列出的是每節課對應於教材上的閱讀材料。

下面引用到的書是課程中用到的具體出版物。

課本

Plummer, James, Michael Deal, and Peter Griffin.《超大規模矽積體電路技術：基本原理，實際應用與建模》Silicon VLSI Technology: Fundamentals, Practice and Modeling.. Upper Saddle River, NJ: Prentice Hall, 2000. ISBN: 0130850373.

Wolf, Stanley, and Richard Tauber.《超大型積體電路時代的矽程序》Silicon Processing for the VLSI Era .，2nd ed. Sunset Beach, CA: Lattice Press, 1999. ISBN: 0961672161.

Sze, Simon.《超大型積體電路技術》VLSI Technology.第二版. New York, NY: McGraw-Hill, 1988. ISBN: 0070627355.

Campbell, Stephen.《微電子製造科學原理與工程技術》The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication.. 2nd ed. New York, NY: Oxford University Press, 2001. ISBN: 0195136055.

Vossen, John, and Werner Kern, eds.《薄膜程序》Thin Film Processes. Burlington, MA: Academic Press, 1978. ISBN: 0127282505.

Vossen, John, and Werner Kern.《薄膜程序》Thin Film Processes. Burlington, MA: Academic Press, 1991. ISBN: 0127282513.

Mayer, James W., and Sylvanus S. Lau.《電子材料科學：矽與砷化鎵積體電路》Electronic Materials Science: For Integrated Circuits in Si and GaAs..New York, NY: Macmillan, 1990. ISBN: 0023781408.

Pierret, Robert, and George W. Neudeck.《固態元件系列叢書》Modular Series on Solid State Devices.. Vol. 1-5. Upper Saddle River, NJ: Prentice Hall, 1987, 89, and 90. ISBN: 0201122979.

Pierret, Robert.《進階的半導體基本原理》. Advanced Semiconductor Fundamentals. Upper Saddle River, NJ: Prentice Hall, 2003. ISBN: 013061792X.

Taur, Yuan, and Tak H. Ning.《現代超大型積體電路基本原理》Fundamentals of Modern VLSI Devices.. Cambridge, UK: Cambridge University Press, 1998. ISBN: 0521559596.

期刊／會議記錄

Journals/Conference Proceedings

《IEEE電子元件學報》（月刊）IEEE Transactions on Electron Devices (published monthly)

《應用物理快報》Applied Physics Letters

《應用物理期刊》Journal of Applied Physics

《IEEE IEDM會議記錄》（每年12月出版）IEEE IEDM Conference Proceedings (published each December)

相關連結

講者介紹