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課程重點
本課程網頁包含授課講義及學生期末報告。麻省理工學院與新加坡聯盟亦提供本課程部份章節。
This course site features lecture notes and student final papers. Some lectures in this class are also offered though the MIT Singapore Alliance.
課程描述
6.780 含括統計模式建構，半導體製造流程及設備控制。主題包括：實驗設計、反應曲面模型建構、流程最佳化；缺點與參數良率的模型建構；製程/元件/電路 良率最佳化；設備與製程的監測，診斷及回饋控制；以及半導體製造作業的分析與排程。
6.780 covers statistical modeling and the control of semiconductor fabrication processes and plants. Topics covered include: design of experiments, response surface modeling, and process optimization; defect and parametric yield modeling; process/device/circuit yield optimization; monitoring, diagnosis, and feedback control of equipment and processes; and analysis and scheduling of semiconductor manufacturing operations.
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| 師資 |
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講師：
Duane Boning 教授
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| 上課時數 |
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教師授課：
每週2節
每節1.5小時
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| 程度 |
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研究所
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| 回應 |
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| 聲明 |
麻省理工學院開放式課程認可 開放式課程計畫（OOPS）的翻譯計畫，開放式課程計畫（OOPS）乃是運用其獨立團隊、獨立資源、獨立流程進行翻譯計畫之團隊。
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原文聲明 |
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