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课程重点
本课程网页包含授课讲义及学生期末报告。麻省理工学院与新加坡联盟亦提供本课程部份章节。
This course site features lecture notes and student final papers. Some lectures in this class are also offered though the MIT Singapore Alliance.
课程描述
6.780 含括统计模式建构，半导体制造流程及设备控制。主题包括：实验设计、反应曲面模型建构、流程最优化；缺点与参数良率的模型建构；制程/元件/电路 良率最优化；设备与制程的监测，诊断及回馈控制；以及半导体制造作业的分析与排程。
6.780 covers statistical modeling and the control of semiconductor fabrication processes and plants. Topics covered include: design of experiments, response surface modeling, and process optimization; defect and parametric yield modeling; process/device/circuit yield optimization; monitoring, diagnosis, and feedback control of equipment and processes; and analysis and scheduling of semiconductor manufacturing operations.
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| 师资 |
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讲师：
Duane Boning 教授
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| 上课时数 |
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教师授课：
每周2节
每节1.5小时
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| 程度 |
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研究所
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| 声明 |
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原文声明 |
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