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总览／安全性／实验作业
Overview/Safety/Lab Assignment (MAS) (PDF) |
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集成电路（IC）实验：总览(MAS)
IC Lab: Overview (MAS) (PDF)
主修课程中信息集约课程的介绍(本科院系的要求) (SR)
Introduction to Communication Intensive subject in the Major (undergraduate institute requirement) (SR) |
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真空系统 (RCOH)
Vacuum System (RCOH) (PDF) |
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化学气相沉积（CVD）
CVD (RCOH) (PDF) |
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氧化 (RCOH)
Oxidation (RCOH) (PDF) |
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集成电路（IC） 实验：测试 (MAS)
IC Lab: Testing (MAS) (PDF)
撰写技术报告(SR)
Writing Technical Reports (SR) (PDF) 由Thea Singer提供
Courtesy of Thea Singer. |
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扩散 (RCOH)
Diffusion (RCOH) (PDF) |
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扩散／注入 (RCOH)
Diffusion/Implantation (RCOH) (PDF) |
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微机电系统（MEMS）实验：总览 (MAS)
MEMS Lab: Overview (MAS) |
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光刻 (MAS)
Lithography (MAS) (PDF - 1.6 MB) |
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光刻，软光刻 (MAS)
Lithography, Soft Lithography (MAS) |
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微机电系统（MEMS）实验：测试 (MAS)
MEMS Lab: Testing (MAS) (PDF) |
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测验1 (包括光刻中的课题) (教师)
Quiz#1 (includes topics through Lithography) (Staff) |
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刻蚀 (湿法) (MAS)
微机电系统（MEMS）报告指导(SR)
Etching (wet) (MAS)
Guidance for MEMS Report (SR) |
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刻蚀 (干法) (MAS)
Etching (dry) (MAS) |
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流体学实验：总览 (MAS)
Fluids Lab: Overview (MAS) (PDF - 1.1 MB) Courtesy of Dr. Hang Lu. |
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溅射 (RCOH)
Sputtering (RCOH) (PDF) |
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蒸发 (RCOH)
Evaporation (RCOH) (PDF - 1.4 MB)
对微机电系统（MEMS）报告的反馈 (SR)
Feedback on MEMS Report (SR) |
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互连 (RCOH)
Interconnect (RCOH) (PDF) |
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先进的硅器件 (MAS)
Advanced Si Devices (MAS) |
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晶体生长 (RCOH)
Crystal Growth (RCOH) (PDF) |
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可靠性 (RCOH)
Reliability (RCOH) (PDF) |
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流体学实验：测试 (MAS)
Fluids Lab: Testing (MAS) (PDF - 1.0 MB) |
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测验2 (包括的内容从软光刻到可靠性) (教师)
Quiz#2 (includes topics from Soft Lithography through Reliability) (Staff) |
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专题：纳米生物学
Special Topic: Nanobiology (PDF- 2.5 MB) |
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专题：纳米生物学 (客座嘉宾) 纳米光刻 (RCOH)
Special Topic: Nanobiology (Guest) Nanolithography (RCOH) |
