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课程的三次测验如下所示，包括涵盖的主题和相关资料。
The course's three quizzes are provided below, along with topics covered and related materials.
测验1和答案
Quiz 1 with solutions (PDF) |
真空系统
Vacuum system
氧化
Oxidation
扩散 ／ 注入
Diffusion / implantation
光刻
Lithography |
测验1的相关公式
Equation sheet for Quiz 1 (PDF) |
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测验1的练习问题
Practice problems for Quiz 1 (PDF) |
课后测验
Take home quiz (PDF) |
金属氧化物半导体场效应晶体管（MOSFET）
MOSFET
刻蚀
Etching |
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测验2和答案
Quiz 2 with solutions (PDF) |
软光刻
Soft lithography
刻蚀
Etching
溅射
Sputtering
蒸发
Evaporation
互连
Interconnect
晶体生长
Crystal growth
可靠性
reliability |
测验2的相关公式
Equation sheet for Quiz 2 (PDF) |
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