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审定：无
翻译：郭玉林(简介并寄信)、程正喜(简介并寄信)、吕尊实(简介并寄信)、张燕均(简介并寄信)
编辑：陈盈(简介并寄信)、刘志广(简介并寄信)


阅读资料 部分提供了下列作业中参考阅读资料的全部出处。
The readings section provides full citations for the readings referenced within the assignments below.

作业 答案
问题集1：真空系统，化学气相沉积（CVD）
Problem Set 1: Vacuum System, CVD (PDF)		 (PDF)
问题集2：化学气相沉积（CVD），氧化
Problem Set 2: CVD, Oxidation (PDF)		 (PDF)
问题集3：扩散，注入
Problem Set 3: Diffusion, Implantation (PDF)		 (PDF)
问题集4：光刻
Problem Set 4: Lithography (PDF)		 (PDF)
问题集5：刻蚀
Problem Set 5: Etching (PDF)		 (PDF)
问题集6：溅射，蒸发，互连
Problem Set 6: Sputtering, Evaporation, Interconnect (PDF)		 (PDF)


 
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